Недостаточный вакуум: проверьте, работает ли уплотнение и работает ли вакуумный насос нормально.
Неравномерное покрытие: отрегулируйте положение целевого положения, скорость вращения субстрата или поток газа.
Если устройство перегревается, проверьте, работает ли система охлаждения должным образом, и очистите компоненты рассеяния тепла.
Отказ питания: проверьте линии электропередач и контроллеры и при необходимости замените компоненты.
Потеря цели слишком быстро: отрегулируйте распылительную мощность, достаточную вакуум
Проблема: плохой уровень вакуума может повлиять на качество покрытия.
Решение: проверьте на уплотнения старения и убедитесь, что вакуумный насос функционирует должным образом. Регулярное обслуживание вашего PVD -машины для покрытия необходимо для предотвращения снижения производительности.
Неровное покрытие
Выпуск: непоследовательная толщина пленки или полоска.
Решение: отрегулируйте положение целевого положения, скорость вращения субстрата или поток газа. Для моделей мультиарков -ионного распыления машины для покрытия оптимизация этих параметров обеспечивает равномерное осаждение.
Устройство перегрева
Проблема: чрезмерное тепло может повредить компоненты.
Решение: осмотрите систему охлаждения и очистите компоненты рассеивания тепла. Правильное тепловое управление имеет решающее значение для долговечности оборудования для аппаратного покрытия.
Сбой питания
Выпуск: внезапные отключения или проблемы с электричеством.
Решение: проверьте линии электропередач и контроллеры; Замените неисправные детали, если это необходимо. Высококачественные аппараты PVD-плитки для покрытия, часто включают защиту от стабильности.
Целевая потеря слишком быстро
Проблема: чрезмерная целевая износ увеличивает эксплуатационные расходы.
Решение: уменьшите питание для распыления или замените цель. Для систем машин с ионов магнетрона, используя целевые цели с высокой точностью, повышает эффективность. R Замените цель.
