EN
Низковакуумные насосы создают начальное снижение давления от атмосферного уровня (обычно до ~ 10⁻² Па). Они необходимы для подготовки камеры к работе в высоком вакууме. Общие типы включают:
Пластинчато-роторные насосы с масляным уплотнением : идеально подходят для применений общего назначения, таких как сушка, дегазация и начальная откачка.
Пример : серия PVD компании ULVAC.
Компактная конструкция с ременным приводом и бесшумной работой.
Такие модели, как PVD-360, достигают скорости выхлопа 19 м³/ч (50 Гц) и предельного давления ≤0,67 Па.
Сухие (безмасляные) насосы : предотвращают загрязнение углеводородами, что имеет решающее значение для чистых процессов, таких как нанесение оптических или полупроводниковых покрытий.
Пример : DRYVAC компании Oerlikon Leybold, в котором используется винтовая технология для минимального обслуживания.
Применение в покрытии оборудования/мебели : Низковакуумные насосы обеспечивают быстрое время цикла лакировочной машины для фурнитуры и мебельной промышленности , где эффективность и чистота имеют первостепенное значение.
Высоковакуумные насосы поддерживают сверхнизкое давление (<10⁻⁵ Па) для беспрепятственного перемещения испарённых частиц. Ключевые технологии включают в себя:
Турбомолекулярные насосы : Безмасляные высокоскоростные насосы для чувствительных к загрязнению процессов.
Пример : TURBOVAC MAGiINTEGRA от Oerlikon Leybold с подшипниками на магнитной подушке, позволяющими устанавливать произвольные углы и минимальную вибрацию.
Криогенные насосы : улавливают газы посредством конденсации, достигая давления до 10⁻⁸ Торр (например, PRO Line PVD 200 Курта Дж. Лескера).
Диффузионные насосы : экономически эффективны для крупномасштабных систем, но требуют форвакуумных насосов.
Интеграция в системы PVD : Высоковакуумные насосы имеют решающее значение для машины для многодугового ионного напыления PVD , где требуется равномерная адгезия и пленки высокой плотности.
Многодуговая ионная машина для нанесения покрытия большого диаметра ZJ :
Комплектуется пластинчато-роторными насосами (например, 2Х-30/2Х-70) и диффузионными насосами (К-500Т).
Поддерживает крупногабаритные инструменты или автомобильные компоненты.
Модульное оборудование для нанесения покрытий (например, PRO Line Курта Дж. Лескера):
Сочетает в себе сухие спиральные насосы (например, Edwards) и криогенные насосы для исследований и разработок или мелкосерийного производства.
Серия UNIVEX от Oerlikon Leybold :
Настраиваемый для исследований и разработок, с использованием источников магнетронного распыления и термического испарения.
Наша машина для нанесения покрытий с многодуговым ионным напылением PVD и машина для нанесения покрытий для фурнитуры и мебельной промышленности объединяют в себе:
Надежное соединение насосов : сочетание надежных насосов низкого вакуума (например, серии ULVAC VD) с турбомолекулярными насосами высокого вакуума.
Универсальность : обрабатывает материалы от металлов (Cr, Ti) до неметаллов (MoO₃).
Автоматизация : системы, управляемые ПЛК, для обеспечения повторяемости покрытий фурнитуры и мебели.
Правильная конфигурация насосов, от низковакуумных пластинчато-роторных насосов до высоковакуумных турбомолекулярных систем, обеспечивает оптимальную производительность многодуговой ионной машины для нанесения ионного покрытия большого диаметра ZJ и оборудования для нанесения покрытий, предназначенного для мебели. Сотрудничайте с нами, чтобы разработать систему PVD, которая сочетает в себе скорость, точность и экономическую эффективность.
Давайте свяжемся с нами.
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
Fill in more information so that we can get in touch with you faster
Privacy statement: Your privacy is very important to Us. Our company promises not to disclose your personal information to any external company with out your explicit permission.
